Ultravioleta extremo

Imagem do Sol composta por ultravioleta extremo (vermelho: 21,1 nm, verde: 19,3 nm, azul: 17,1 nm) tirada pelo Solar Dynamics Observatory em 1 de agosto de 2010, mostrando uma erupção solar e ejeção de massa coronal
A luz ultravioleta extrema de 13,5 nm é usada comercialmente para fotolitografia como parte do processo de fabricação de semicondutores. Esta imagem mostra uma ferramenta experimental recente.

A radiação ultravioleta extrema (EUV ou XUV, do termo em inglês Extreme ultraviolet) ou radiação ultravioleta de alta energia é a radiação eletromagnética na faixa do espectro eletromagnético abrangendo comprimentos de onda de 124 nm a 10 nm e, portanto (pela relação de Planck-Einstein), tendo fótons com energia de 10 eV até 124 eV (correspondendo a 124 nm até 10 nm, respectivamente). EUV é gerada naturalmente pela coroa solar e artificialmente por plasma, fontes de geração de altos harmônicos e fontes de luz síncrotron. Uma vez que UVC se estende por até 100 nm, há certa sobreposição nos termos.

Os principais usos da radiação ultravioleta extrema são espectroscopia de fotoelétrons, imagens solares e litografia. No ar, EUV é o componente mais amplamente absorvido do espectro eletromagnético, exigindo alto vácuo para transmissão.


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